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      仕  様            (53型:50Hz用   63型:60Hz用)
MODEL 1400N-53(63) 1402N-53(63) 1376N-53(63) 1374N-53(63)
排気速度(l/min) 25 160 300 650
到達圧力(Torr) 1×10-4 1×10-4 1×10-4 1×10-4
ガスバラスト弁
ポンプ回転数rpm. 580 525 525 510
モーター馬力 1/3 1/2 1 1.5
オイル容量(L) 0.59 2.1 2.37 1.2
ISO接続フランジ NW-16 NW-25 NW-25 NW-40
吸入口(mmφ) 11.1 20.6 20.6 41.3
寸法 L×W×H(cm) 45/30/32 49/35/29 49/31/40 66/35/48
重量(kg) 31 51 71 100
    アクセサリー適合表
酸中和トラップ 1420H-21 1420H-20 1420H-20 1420H-20
オイルミスト・エリミネーター 1416D 1416D 1416D 1416F
オイル濾過システム 1418G 1418G 1418G 1418G
窒素パージ調整器 LL0191B LL0191B LL0191B LL0191B
N2ガス/3.4Lボンベ NB0013B NB0013B NB0013B NB0013B

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